1、色彩表现:高穿透度、高饱和度、高对比度
2、制程特性:高涂布均匀性、高感光度、较大显影制程窗口
3、可靠度:高耐热性、高耐光性、高耐化学性、高储存稳定性
依据客户需求调整规格
具有曝光灵敏度高、对比度高、分辨率高、且具有良好的工艺宽裕度。可应用于AMOLED、LCD及相关半导体制造工艺
满足于i-线,g-线、g-h-i线曝光,可实现1.5μm分辨率
涂布:spin或slit
前烘:110℃,160sec
曝光: i-线,g-线、g-h-i线曝光
显影:TMAH 2.38% ,60s
坚膜:130 ℃ ,140sec